等温炉衬里
等温炉衬里(IFL)是环形液态金属热管,可提供均匀的温度工作环境。来自AAVID的IFL,Boyd Corporation的热门划分通过实现bob电竞在线等温壁温度最大化生产力的时间和精力。没有移动部件,IFL易于安装,提供设计灵活性,非常可靠且经济高效。与探针不同,IFL不依赖于连接到周围墙壁或外部环境的传热路径。
在大多数应用中,AAVID IFLS使用单个加热器和控制器提供单个均匀温度区。对于多个,可单独控制的区域或步骤温度分布的变化,可以串联使用两个或更多个IFL。温度调节是一个简单的一步过程,并且不需要频繁的轮廓测量。
由等温炉衬垫提供的优越的温度均匀性需要在精确的过程中,如半导体晶体生长,热电偶和温度校准,气相沉积,黑体散热器,集中太阳能接收器等。IFLs非常适合在化学加工和研究应用的过程管和实验室炉。在IFL中测量的空间温度变化小于10mK,在许多情况下可能超过现有测量技术的灵敏度。
用于操作至1,600°C的标准IFL可在一系列尺寸范围内,以适合水平或垂直应用的传统炉膛。可以制造自定义IFL,用于子环境和低温操作。IFL的大小和几何可以为任何应用程序定制。
等温处理容器(IPV)是等温炉衬里的延伸,自1971以来已被提供给半导体晶体种植者和校准实验室。
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